-En/två dörrar
Ram och kammare är gjorda av rostfritt kolstål.
Varje dörr tillhandahåller ett inspektionsfönster för visuell kontroll av processen.Dörrväggarna ger ett foder i rostfritt stål som lätt kan tas bort för underhåll.
- Anpassad vakuumkammare
Kammaren ger inre foder av rostfritt stål som lätt kan tas bort för rengöring.
Pumparna står på dess bakre del.
Kammaren har en serie små flänsar för mätning.
-Högvakuumpumpsystem
Diffusionspump+Boosterpump+Mekanisk pump
- Vakuummätning och kontroll
Med metall Pirani-mätare+metalljoniseringsmätare
- Fixturer rörligt system
-PLC Styrenhet
-Aluminium förångningssystem med hög effekt transformator
-Järnram
Strukturen är rimlig
Filmskiktet är enhetligt
Filmbildande kvalitet
Hög pumphastighet, kort arbetscykel och hög produktionseffektivitet
Driften är bekväm
Låg energiförbrukning och stabil prestanda
Modellnummer | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Två dörrar eller tvåkammarmodell finns tillgängliga | |
Dimension av vakuumkammare (diameter * höjd) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Material i vakuumkammaren | Kolstål, SUS304 eller SUS316L | ||||||
Teknik för att arbeta | vakuummotståndsförångning med volfram- och aluminiumfilament, högeffektsförångningstransformator | ||||||
Pumpsystem | Diffusionspump+mekaniska pumpar, boosterpump | ||||||
Pumpningstid | Från atmosfär till 5,0*10-2Pa mindre än 8 minuter | ||||||
Vakuumgräns | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Arbetstemperatur | Rumstemperatur | ||||||
Arbetsläge | Automatiskt eller manuellt läge, med 10,4 tums PLC-pekskärm | ||||||
Total kraft | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Fotavtryck | 2*2 meter | 2*3 meter | 3*3 meter | 3*3 meter | 3*4 meter | 4*5 meter | 5*6 meter |
Dessa enheter kan du skräddarsy | 1. Storlek på vakuumkammaren 2. Konfigurationer av pumpar | ||||||
Valfria instrument | 1. Läckagedetektor 3. Bågjondeponeringssystem 4. Magntron-förstoftningssystem |