Inline Sputtering System
-
Inline Magnetron Sputtering-system
Inline Magnetron Sputtering-system är ett slags vakuum tunnfilmsavsättningsutrustning som fungerar för olika ändamål.De vanligaste tillämpningarna av vår sputterlinje inkluderar:
Tillverkning av aluminiumspegel
- ITO glasbeläggning
- Antireflekterande glas
- Dekorativa beläggningar för rostfritt stål och glas
Detta beläggningssystem är lämpligt för högklassiga vakuumbeläggningsapplikationer.Den ger stabil arbetsprestanda för att förbättra kvaliteten på vakuumbeläggningsfilmer.
-
ITO Glas Magnetron Sputtering Coating Line
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line använder vakuummagnetronförstoftningsteknik och obalanserad magnetronförstoftningsteknik för att belägga högkvalitativt floatglas med SO2/ITO-skikt.Baserat på internationellt avancerad kontrollsystem.Hela tillverkningsprocessen fungerar automatiskt och kontinuerligt.
-
Aluminiumspegel Inline Magnetron Sputtering Line
Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line är designad för hög produktion av glasspegeltillverkning.För att belägga större glas och ta hand om ömtåliga glaspaneler, speciellt för de stora skivorna, gör vi vanligtvis horisontella sputterlinjer.Det är en kontinuerlig magnetronbeläggningslinje, med den främre och bakre grova pumpkammaren, och efter övergångskammaren, före och efter den fina pumpkammaren, en buffertkammare, färgplätering.
Måldesign: cylindriska magnetronförstoftande katoder eller/och plana katoder.
Strömkälla: strömförsörjning med hög effekt DC eller MF magnetron sputtering
Drivsystem: rulldrivning, frekvensjusterbar, induktionssystem för öppning av dörrar.
Vakuumsystem: diffusionspump (eller turbomolekylär pump) + rotpump + mekanisk pump
