Aluminiumspegel Inline Magnetron Sputtering Line

Kort beskrivning:

Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line är designad för hög produktion av glasspegeltillverkning.För att belägga större glas och ta hand om ömtåliga glaspaneler, speciellt för de stora skivorna, gör vi vanligtvis horisontella sputterlinjer.Det är en kontinuerlig magnetronbeläggningslinje, med den främre och bakre grova pumpkammaren, och efter övergångskammaren, före och efter den fina pumpkammaren, en buffertkammare, färgplätering.

Måldesign: cylindriska magnetronförstoftande katoder eller/och plana katoder.

Strömkälla: strömförsörjning med hög effekt DC eller MF magnetron sputtering

Drivsystem: rulldrivning, frekvensjusterbar, induktionssystem för öppning av dörrar.

Vakuumsystem: diffusionspump (eller turbomolekylär pump) + rotpump + mekanisk pump