Inline Magnetron Sputtering-system

Kort beskrivning:

Inline Magnetron Sputtering-system är ett slags vakuum tunnfilmsavsättningsutrustning som fungerar för olika ändamål.De vanligaste tillämpningarna av vår sputterlinje inkluderar:

Tillverkning av aluminiumspegel

ITO glasbeläggning
Antireflekterande glas
Dekorativa beläggningar för rostfritt stål och glas

Detta beläggningssystem är lämpligt för högklassiga vakuumbeläggningsapplikationer.Den ger stabil arbetsprestanda för att förbättra kvaliteten på vakuumbeläggningsfilmer.

Skicka e-post till oss

Produktdetalj

Produkttaggar

Inline magnetron sputtering beläggningsmaskin är huvudsakligen DC (eller MF) magnetron sputtering beläggning kan anpassas till ett brett spektrum av mål, såsom: koppar, titan, krom, rostfritt stål, nickel och andra metallmaterial som kan beläggas med en sputtringsprocess kan förbättra filmvidhäftning, reproducerbarhet, densitet, enhetlighet och andra egenskaper.

a.De grundläggande egenskaperna och parametrarna
b.horisontell linjestruktur kan realiseras samtidigt belagd på ena sidan
c.produktionseffektivitet, de snabbaste hastigheterna på upp till 1 min / slag
d.modulär design, enkelt underhåll
e.pläteringsprocessen mognad, hög avkastning
f.DC-magnetronförstoftningskatoder kan variera beroende på kundens krav
g.Vakuumsystemet består av en mekanisk pump, Roots-pumpar, diffusionspumpar (molekylär pump) Sammansättning
h.Linjens karossstorlek kan variera beroende på kundens krav

1) Vakuumkammaren kroppsmaterial som används SUS304, polering av en vakuumkammare väggbehandling, ytterväggen spray polering pärlor bearbetning.
2) Användning av en oberoende slussventil mellan vakuumkammaren - klaffventilen isär, kan effektivt stänga av, stabilisera processgasen.För närvarande antar vårt företag klaffventildesignen, den tätar bättre, mer hållbar än den nuvarande inhemska vanliga klaffventilen.
3) Transmission använder magnetisk styrning, skyddar enhetens stabilitet.För varje hastighet i hela produktionslinjen som använder VVVF-motordrift kan körhastigheten justeras.
4) Elektriskt styrsystem: Pekskärm och PLC automatisk kontroll, man-maskin dialog för att uppnå datavisningssystemet, driftsparametrar och styrteknik
1) Slutligt vakuumtryck: 6 × 1 0E-4 Pa
2) den genomsnittliga produktionscykeln: enligt den fastställda produkten
3) Substrathållaren Storlek: kan anpassas enligt kraven i
4) Filmlikformighet: ± 3 % avancerad mobilfältteknik har avsevärt förbättrat målutnyttjandet
Segmenterad värmaredesign bidrar till processoptimering.